論文名稱	以模糊控制法則進行氮化鈦薄膜製程之參數最佳化控制
研討會名稱	2011智慧型數位生活研討會
舉行地點	台灣，中華民國台北市士林區(中國文化大學工學院)
會議開始時間	2011-04-29
會議結束時間	2011-04-29
作者順序	第一作者