论文名称	以模糊控制法则进行氮化钛薄膜制程之参数最佳化控制
研讨会名称	2011智慧型数码生活研讨会
举行地点	台湾，中华民国台北市士林区(中国文化大学工学院)
会议开始时间	2011-04-29
会议结束时间	2011-04-29
作者顺序	第一作者