論文名稱	以田口實驗法製備氮化鈦薄膜之品質分析
研討會名稱	2012 精密機械與製造科技研討會
舉行地點	中華民國屏東縣恆春鎮
會議開始時間	2012-05-18
會議結束時間	2012-05-20
作者順序	第一作者