年度 2015
计画类别 企业产学计画(含公营及私人企业)
计画名称 以高功率脉冲磁控溅镀(HIPIMS)系统溅镀氮化钛(TiN)薄膜之分析
类别 主持人
起迄日期 2015.02 ~ 2016.01