论文名称 | Stepping Experiment and Characteristics Analysis of a Novel Biaxial Piezoelectric Actuated Stage |
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研讨会名称 | 2013 International Applied Science and Precision Engineering Conference (ASPEC) |
举行地点 | 中华民国南投县日月潭 |
会议开始时间 | 2013-10-18 |
会议结束时间 | 2013-10-22 |
作者顺序 | 第一作者 |